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真空系統中真空泵該怎么選擇

在真空系統的設計計算中,人們把直接對真空容器進行抽空的真空泵叫做主泵,而把維持另一個泵的前級壓力在臨界前級壓力以下的真空泵叫做前級泵。為了使被抽容器中從大氣壓力開始很快地抽到主泵能夠開始工作的壓力的真空泵,叫做預抽真空泵。對一個真空系統來說,常常把系統的前級泵兼做預抽真空泵。這里說的選泵,是指選擇主泵。關于配泵,狹義的講,是指正確地為主泵匹配好合理的前級泵,廣義而言,則包括選擇前級泵和預抽泵。真空系統中的核心設備是真空泵,真空系統設計中關鍵步驟是選泵與配泵。

選泵的具體內容,就是要確定主泵的類型,決定主泵的大小。選泵的原則是工藝上可靠,經濟上合理,技術上先進,系統上最優,形式上藝術。

確定主泵類型,首先要考慮的是可行可靠問題,應該依據真空泵所要達到的極限真空度和工作真空度(選取主泵的極限真空度比真空室的極限真空度稍高),根據被抽氣體種類,每種氣體所占比例,以及氣體中夾雜灰塵等情況,選擇符合工藝要求的真泵空。當兩種以上的不同類型泵都適合上述條件時,則要根據初次投資和日常維護費用等經濟指標,選擇經濟上合理的真空泵。然后,再進一步比較環境等條件,選取最佳的。為此,必需從整套真空系統出發,全面考慮,切不可僅僅作真空泵的比較就給予確定。

決定主泵大小,是根據真空室在工作時所需要的工作壓強和室內的最大排氣量。真空室內的工作壓強一定要選在主泵的最佳抽速壓強范圍之內。另外,還要考慮真空室的大小和抽氣時間,因為在抽氣時間一定條件下,若真空室體積越大,則主泵的抽速也越大。

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