夏季中水環式真空泵真空度降低的原因
油擴散泵的發展趨向特點
(1)采用飽和蒸氣壓低，性能好的新工作液，以提高泵的極限真空。如聚苯醚、聚乙烯醚等�，F在普遍使用的是硅油。
(2)改進結構，提高抽速。
(3)降低泵的反油率。例如在擋板敷聚四氟乙烯可使返油率大為減少。
(4)縮短泵的啟動時間。
(5)擴大抽氣工作壓強范圍，國外在0.4~10-8Pa之間，抽速不變。
(6)提高最大反壓強，國外較好的泵排壓在79.99-106.66Pa之間。
